[发明专利]用以决定对叠补偿参数的系统及方法无效
| 申请号： | 200410088161.7 | 申请日： | 2004-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN1760761A | 公开（公告）日： | 2006-04-19 |
| 发明（设计）人： | 李永尧 | 申请（专利权）人： | 茂德科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20;G03F7/00;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王志森;黄小临 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种用以决定对叠补偿参数的系统，其适用于连续处理多产品批次的曝光机台。其包括机台执行记录库、对叠数据库、及对叠控制装置。其中该机台执行记录库用以存储该曝光机台连续处理产品批次的记录，其中被处理的每一产品批次对应于一产品的一层次，其至少包含目前批次及先前批次的记录。该对叠数据库存储该目前批次及该先前批次对应产品的对叠补偿数据的历史记录，该对叠控制装置依据该历史记录决定目前批次的对叠补偿参数设定值。 | ||
| 搜索关键词： | 用以 决定 补偿 参数 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用以决定对叠补偿参数的系统，包括：一机台执行记录库，用以存储一曝光机台连续处理多个产品批次的记录，其中每一被处理批次对应于一产品的一层次，且该记录至少包含一目前批次Lk及一先前批次Lk-1的记录。一对叠数据库，用以存储该目前批次Lk及该先前批次Lk-1分别对应一产品A及一产品B的一对叠补偿数据的历史记录DA，x及DB，y，其中x及y分别表示该历史记录的时间序号；以及一对叠控制装置，依据该历史记录DA，x及DB，y决定该目前批次Lk的一对叠补偿参数设定值。
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