[发明专利]压电谐振器的制造方法无效
| 申请号： | 200410088224.9 | 申请日： | 2004-10-21 |
| 公开（公告）号： | CN1610253A | 公开（公告）日： | 2005-04-27 |
| 发明（设计）人： | 梅津一成;吉村和人;船坂司;北村文孝 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H3/02 | 分类号： | H03H3/02;H01L41/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种压电谐振器的制造方法，包括在晶体所制成的基板上，形成具有板状的基部以及从该基部向一侧方向延伸的多个臂部的振动片的振动片形成工序(S001)，以及给臂部的一面以及另一面照射激光，去除该激光照射部，使沟槽形成为在与该沟槽的长边方向垂直的面上所截取的截面具有给定的形状的激光照射工序(S002)，以及在振动片上形成驱动电极的电极形成工序(S003)。这样，能够通过简单的工序高精度且短时间地形成所期望的沟槽的形状。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 谐振器 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种压电谐振器的制造方法，该压电谐振器具有振动片，所述振动片具有板状的基部、和从该基部向侧方延伸的多个臂部，在所述臂部上设置有沟槽，其特征在于，所述制造方法具有激光照射工序，通过对所述臂部的一面以及另一面照射激光，去除该激光照射部，形成所述沟槽，使得按照与该沟槽的长轴方向垂直的面截取的截面具有给定形状。
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