[发明专利]测量头用位置调整器和非接触型电阻率测定装置有效
| 申请号： | 200410088575.X | 申请日： | 2004-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1614427A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | 细川理彰 | 申请（专利权）人： | 奈普森株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R27/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 程伟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供测量头用位置调整器和非接触型电阻率测定装置，该装置包括，调整测量头(16)与测量试样(17)之间间距的头位置调整机构(12)；与测量头(16)形成一体的平行于测量试样(17)的基准板(13)，其间接表示测量头(16)和测量试样(17)的表面之间间距；包括线性图象传感器的头间距监视机构(14)射出检查光，比较在基准板(13)和测量试样(17)反射的反射光，监视测量头(16)和测量试样(17)表面之间的间距；根据头间距监视机构(14)的测量值，驱动头位置调整机构(12)，将测量头(16)与测量试样(17)的表面之间间距调整为设定值的控制机构(15)。 | ||
| 搜索关键词： | 测量 位置 调整器 接触 电阻率 测定 装置 | ||
【主权项】：
1.一种测量头用位置调整器，其特征在于：包括，头位置调整机构，该头位置调整机构调整测量头与测量试样之间的间距，该测量头在以稍小的间距间隔开的状态，对测量试样的表面进行扫描；透明的基准板，该透明的基准板与上述测量头形成一体，并且按照与上述测量试样的表面平行的方式设置，间接地表示上述测量头和上述测量试样的表面之间的间距；头间距监视机构，该头间距监视机构通过上述基准板，向上述测量试样的表面射出检查光，比较在上述基准板反射的反射光和在测量试样的表面反射的反射光，由此监视上述测量头和上述测量试样的表面之间的间距；控制机构，该控制机构根据上述头间距监视机构的测量值，驱动上述头位置调整机构，将上述测量头与上述测量试样的表面之间的间距调整为设定值。
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