[发明专利]圆形梳齿式微型电场传感器无效
| 申请号： | 200410088604.2 | 申请日： | 2004-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN1769913A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 夏善红;陶虎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | G01R29/12 | 分类号： | G01R29/12 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 戎志敏 |
| 地址： | 100080北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种圆形梳齿式微型电场传感器，包括：梳状固定电极(1)和梳状屏蔽电极(2)沿振动方向间隔分布在圆周上；在梳状屏蔽电极(2)上开有栅孔(4)；感应电极(3)放置在栅孔(4)下面。本发明的传感器工作时采用梳齿式驱动来实现屏蔽电极相对于感应电机的振动，位移精准，周期性好；感应电极采用多组并联，从而加大了检测信号的强度，便于测量较弱电场信号；由于感应电极采用的是圆形对称分布，从而可以使用差分电路降低系统噪声对系统检测的影响；屏蔽电极上栅孔的分布采用的是少量多组的分布原则，从而有效的降低了单块屏蔽电极上栅孔间的信号干扰。 | ||
| 搜索关键词： | 圆形 梳齿 式微 电场 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种圆形梳齿式微型电场传感器，包括：梳状固定电极(1)和梳状屏蔽电极(2)沿振动方向间隔分布在圆周上；在梳状屏蔽电极(2)上开有栅孔(4)；感应电极(3)放置在栅孔(4)下面。
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