[发明专利]薄膜式晶圆测试装置暨其探针感测传输结构

摘要

本发明涉及一种薄膜式晶圆测试装置暨其探针感测传输结构，包括一基板，该基板可供一缓冲接固组件及感测传输组件锁设、固定，并于该感测传输组件内设一探针卡，令该探针卡与晶圆接触作良率测试时，藉由缓冲接固组件的缓冲限位移动特性，及感测传输组件的准确、稳定感测功效，使晶圆良率的检测作业更为确实、迅速，同时，在维修上亦甚为简便、省时。

主权项

1、一种薄膜式晶圆测试装置，包括：一基板，其上设有一定位空间及若干锁孔；一缓冲接固组件，包含一锁设于该基板上的固定接座，以及一端穿经该定位空间与固定接座锁设结合的接固本体，且该接固本体与固定接座之间设有缓冲组件，使该接固本体与固定接座间存在一缓冲空间；一感测传输组件，包含传输座及传输界面，该传输座固设于该基座背缘处，其上贯穿成型若干等间距排列的感测弹性梢孔，可供感测弹性梢容设于内，该传输界面固设于该传输座背面处，其上设有若干相邻的传输导线，令该等感测弹性梢一端各自与一传输导线接触，而另端则触抵该基板相对应的外缘面；一探针卡，设于该传输界面与该接固本体之间，其一外表面竖设有复数呈凸立状的探针。