[发明专利]真空负压纳米压印装置

摘要

一种真空负压纳米压印装置。用于纳米加工技术技术领域。本发明主体是一个真空负压工作室，真空负压工作室底部密封，顶部有圆形石英片窗口，而圆形石英片窗口与真空负压工作室通过两个小法兰、一个大法兰、环形橡胶柔性绞链圆片、环形橡胶柔性衬垫圆片密封连接。圆形石英片和环形橡胶柔性绞链圆片密封连接，夹紧在二个小法兰、环形橡胶柔性衬垫圆片和环形橡胶柔性绞链圆片之间，工作室上盖和工作室底座通过密封圈密封连接；真空计和抽气管分别与抽气均衡环通过密封管道密封连接；真空闸门密封连接在抽气管上；减压闸门通过密封管道与真空负压工作室密封连接。本发明极大降低了设备的成本。在亚微米结构的制造具有广泛的应用。

主权项

1、一种真空负压纳米压印装置，其特征在于，是一个真空负压工作室(1)，真空负压工作室(1)包括：圆形石英片(2)、环形橡胶柔性绞链圆片(3)、二个小法兰(4)、一个大法兰(5)、环形橡胶柔性衬垫圆片(6)、工作室上盖(7)、工作室底座(8)、聚四氟乙烯柔性垫片(9)、工作台(10)、抽气均衡环(11)、真空计(12)、抽气管(13)、纳米压印组件(14)、圆形压强倍增石英片(15)、密封圈(16)、真空闸门(17)、减压闸门(18)、减压管(19)，真空负压工作室(1)底部密封，顶部有圆形石英片窗口(2)，而圆形石英片窗口(2)与真空负压工作室(1)通过两个小法兰(4)、一个大法兰(5)、环形橡胶柔性绞链圆片(3)、环形橡胶柔性衬垫圆片(6)密封连接，圆形石英片(2)通过二个小法兰(4)、环形橡胶柔性衬垫圆片(6)和环形橡胶柔性绞链圆片(3)密封连接，圆形石英片(2)夹紧在二个小法兰(4)、环形橡胶柔性衬垫圆片(6)和环形橡胶柔性绞链圆片(3)之间；环形橡胶柔性绞链圆片(6)通过大法兰(5)和真空负压工作(1)密封连接；工作室上盖(7)和工作室底座(8)通过密封圈(16)密封连接；工作室底座(8)、圆形聚四氟乙烯柔性垫片(9)和可以通过电控实现x-y-z方向调整的工作台(10)不可移动的同心紧密接触；抽气均衡环(11)固定在真空负压工作室(1)内底部，抽气均衡环(11)是一上有均匀小孔的环形管；真空计(12)和抽气管(13)分别与抽气均衡环(11)通过密封管道密封连接；纳米压印组件(1)放置在基板工作台(10)中心圆形聚四氟乙烯柔性垫片上；圆形压强倍增石英片(15)与圆形石英片(4)下表面紧密同心连接；密封圈(16)放置在工作室上盖(7)腔壁与工作室底座(8)腔壁之间，通过钢制工作室上盖(7)的自身重量和工作室底座(8)紧密接触；真空闸门(17)密封连接在抽气管(13)上；减压闸门(18)通过密封管道与真空负压工作室(1)密封连接。