[发明专利]液滴涂敷方法、液滴涂敷装置及设备以及电子机器无效
| 申请号： | 200410089666.5 | 申请日： | 2004-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN1612671A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 三浦弘纲 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05K1/02 | 分类号： | H05K1/02;H05K3/10;G02B5/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种液滴涂敷方法，一边使液滴喷头(20)与基板(2)相对移动，一边从液滴喷头(20)喷出液滴并涂敷在基板(2)表面的给定区域内。使液滴对着基板(2)的表面，向着与垂直方向交叉的方向喷出，在使液滴喷头(20)与基板(2)相对移动并喷出上述液滴时，沿着上述相对移动方向喷出液滴。从而能够形成均匀的膜以及微小线宽的图形，且不会发生断线等品质不良。 | ||
| 搜索关键词： | 液滴涂敷 方法 装置 设备 以及 电子 机器 | ||
【主权项】：
1、一种液滴涂敷方法，一边使液滴喷头与基板相对移动，一边从所述液滴喷头喷出液滴，涂敷在基板表面的给定区域内，其特征在于，使所述液滴对着所述基板表面，向着与垂直方向交叉的方向喷出；在使所述液滴喷头与所述基板相对移动并喷出所述液滴时，沿着所述相对移动方向喷出所述液滴。
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