[发明专利]制膜方法及装置、设备制造方法及装置无效
| 申请号： | 200410089681.X | 申请日： | 2004-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN100349049C | 公开（公告）日： | 2007-11-14 |
| 发明（设计）人： | 三浦弘纲 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | G02F1/1335 | 分类号： | G02F1/1335;B05B17/04;G02B5/20 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在基板(2)上涂敷多个液滴(99a、99b)进行制膜。具有以多种大小将液滴(99a、99b)涂敷到基板(2)上的工序，以及使基板(2)上的液滴(99a、99b)以不同的振动特性进行振动的工序。从而能够容易地形成平坦且具有均匀膜厚的薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 方法 装置 设备 制造 | ||
【主权项】：
1、一种制膜方法，在基板上涂敷多个液滴而进行制膜，其特征在于，包括：以多种大小将所述液滴涂敷到所述基板上的工序；和使所述基板上的液滴以不同的振动特性进行振动的工序。
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