[发明专利]舱室分送方法无效
| 申请号： | 200410089710.2 | 申请日： | 2004-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN1769151A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 程伟;徐健 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/07 | 分类号： | B65G49/07 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王志森;黄小临 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明提供一种舱室分送方法，用于将多个晶片分送于一机台，机台包含有多个舱室，用于依据多个工艺配方来对晶片加工，分送管理方法包含有设定机台及舱室的状态，依据舱室的状态来判断工艺配方是否可执行，以及依据可执行的工艺配方来分送晶片至机台，使舱室对晶片加工。 | ||
| 搜索关键词： | 舱室 分送 方法 | ||
【主权项】：
1.一种半导体机台的分送方法，用于将多个晶片分送于一机台，该机台包含有多个舱室，并依据多个工艺配方来对该多个晶片加工，该分送方法包含有：设定该机台及该多个舱室的状态；依据该多个舱室的状态来判断该多个工艺配方是否可执行；以及依据可执行的工艺配方来分送该多个晶片至该机台，使该多个舱室对该多个晶片加工。
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