[发明专利]缺陷检测方法

摘要

本发明提供一种缺陷检测方法，首先，进行一派工程序，其先选取多个晶舟，各晶舟内均装有多个具有一第一缺陷检测数据的晶片，随后将前述的晶舟指派至多个机器，以使每一机器包括至少一晶舟，然后将每一晶舟内的各晶片指派至每一机器的各反应腔体，以使每一反应腔体包括至少一晶片，当前述的派工程序进行完成之后，接着于每一机器的各个反应腔体内，进行一第一工艺于各个晶片上，最后，对工艺后的各晶片进行一第一缺陷检测程序。

主权项

1.一种缺陷检测方法，用来检查多部机器是否产生异常，并且各该机器均包括至少一反应腔体，该方法包括：进行一派工程序，其包括：选取多个晶舟，各该晶舟内均装有多个晶片，并且各该晶片均已具有一第一缺陷检测数据；将该些晶舟指派至该些机器，以使各该机器包括至少一该晶舟；以及将各该晶舟内的该些晶片指派至各该机器的各该反应腔体，以使各该反应腔体包括至少一该晶片；于各该反应腔体内，进行一工艺于各该晶片上；以及对该些晶片进行一第一缺陷检测程序。