[发明专利]薄膜晶体管及平板显示装置有效
| 申请号： | 200410089964.4 | 申请日： | 2004-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN1599080A | 公开（公告）日： | 2005-03-23 |
| 发明（设计）人： | 金勋;李基龙;徐晋旭 | 申请（专利权）人： | 三星SDI株式会社 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;G02F1/136 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种薄膜晶体管及平板显示装置。该薄膜晶体管具有布置于基底上的半导体层、布置于基底上和半导体层上的栅极绝缘层、以及布置于栅极绝缘层上的栅极，栅极绝缘层布置成厚度为从等于半导体层厚度至半导体厚度的1.5倍。栅极绝缘层可仅是氮化物层、仅是氧化物层、或由氮化物层和氧化物层两者构成的叠层膜。该薄膜晶体管能结合在用于平板显示装置的构造中。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 平板 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种薄膜晶体管，包括：半导体层，布置于基底上；栅极绝缘层，布置于该基底上和该半导体层上；以及栅极，布置于该半导体层上的该栅极绝缘层上，其中该栅极绝缘层的厚度至少是该半导体层的厚度。
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