[发明专利]扫描仪线性测试器无效
申请号: | 200410090091.9 | 申请日: | 2004-11-01 |
公开(公告)号: | CN1621946A | 公开(公告)日: | 2005-06-01 |
发明(设计)人: | 杜鲁门·F·凯利;威廉·D·爱德华兹 | 申请(专利权)人: | 三星电子株式会社 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20;G01M11/00 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 黄小临;王志森 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | 通过一种方法和装置测量扫描系统中的线性光点速度或位置变化。该方法包括:提供能在扫描线上一前一后移动的至少两个辐射检测器,两个检测器分开距离d;将至少两个辐射检测器置于扫描线上的第一点处;利用扫描辐射扫描至少两个辐射检测器并记录两个检测器沿扫描线的位置,以及当至少两个辐射检测器位于第一点时扫描辐射从至少两个辐射检测器的第一个扫描到第二个所用的时间;将至少两个辐射检测器移动到扫描线上的第二点处,保持至少两个辐射检测器之间的距离d;和再次利用扫描辐射扫描至少两个辐射检测器,并记录两个检测器沿扫描线的位置,以及当至少两个辐射检测器位于第二点时扫描辐射从至少两个辐射检测器的第一个扫描到第二个所用的时间。 | ||
搜索关键词: | 扫描仪 线性 测试 | ||
【主权项】:
1.一种用于测量扫描系统中的线性光点速度或位置变化的方法,包括下列步骤:a)提供可在扫描线上一前一后移动的至少两个辐射检测器,所述两个辐射检测器分开距离d;b)将所述至少两个辐射检测器置于扫描线上的第一点处;c)利用扫描辐射扫描所述至少两个辐射检测器,并记录所述两个检测器沿所述扫描线的位置,以及当所述至少两个辐射检测器位于所述第一点时所述扫描辐射从所述至少两个辐射检测器的第一个扫描到所述至少两个辐射检测器的第二个所用的时间;d)将所述至少两个辐射检测器移动到扫描线上的第二点,保持所述至少两个辐射检测器之间的距离d;以及e)再次利用扫描辐射扫描所述至少两个辐射检测器,并记录所述两个检测器沿所述扫描线的位置,以及当所述至少两个辐射检测器位于所述第二点时所述扫描辐射从所述至少两个辐射检测器的第一个扫描到所述至少两个辐射检测器的第二个所用的时间。
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