[发明专利]无损非接触分析系统无效
| 申请号： | 200410090139.6 | 申请日： | 2004-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN1611935A | 公开（公告）日： | 2005-05-04 |
| 发明（设计）人： | 二川清 | 申请（专利权）人： | 恩益禧电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N27/85 | 分类号： | G01N27/85;G01N27/22;G01N27/00;G01N21/84;G01R31/02;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 穆德骏;陆弋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 在用于分析和评估对象(SW)的无损非接触分析系统中，光束产生/调制装置12发射调制聚焦光束(MLB)以由此照射对象(SW)，并且调制聚焦光束的调制由一系列规则脉冲组成的调制信号(MO－S)实现。磁性检测装置(22)检测磁场(MF)并由此产生磁场信号(MF－S)，此磁场由用调制聚集光束照射对象而激发的电流产生。信号提取电路(24)提取在参考信号(RE－S)和磁场信号(MF－S)之间的相差信号(PDF－S)。图像数据产生系统(图14)基于相差信号(PDF－S)产生相差图像数据(PDFij)。 | ||
| 搜索关键词： | 无损 接触 分析 系统 | ||
【主权项】：
1.一种无损非接触分析系统，用于分析和评估对象(SW)，其包含：光束产生/调制装置(12)，其发射调制聚焦光束(MLB)以由此照射对象(SW)，所述调制聚焦光束的调制由与一系列规则脉冲组成的参考信号(RE-S)同步的调制信号(MO-S)实现；磁性检测装置(22)，其检测用所述调制聚焦光束照射所述对象而激发的电流产生的磁场(MF)，以由此产生磁场信号(MF-S)；信号提取电路(24)，其提取在所述参考信号(RE-S)和所述磁场信号(MF-S)之间的相差信号(PDF-S)；以及图像数据产生系统(图14)，其根据所述相差信号(PDF-S)产生相差图像数据(PDFij)。
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