[发明专利]布线图形检查装置及方法无效
| 申请号： | 200410090559.4 | 申请日： | 2004-11-08 |
| 公开（公告）号： | CN1614398A | 公开（公告）日： | 2005-05-11 |
| 发明（设计）人： | 笹部高史 | 申请（专利权）人： | 优志旺电机株式会社 |
| 主分类号： | G01N21/956 | 分类号： | G01N21/956;G01N21/84 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 黄剑锋 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的目的是，通过组合由落射照明进行的检查和由反射照明进行的检查，不会误检测地检查布线图形的粗大或窄细。在TAB带(10)的检查对象图形(10a)上，使摄像装置(1c)、透射照明装置(1a)、落射照明装置(1b)进行扫描，而获得透射照明图像和落射照明图像，此外，在预先设定的每个检查区域中，将前述透射照明图像及落射照明图像与作为检查标准的标准图形进行比较，以判定布线图形是否合格，在器件孔的周缘区域或将树脂薄膜部分剥离的缝隙部的周缘区域等、横跨前述透光性基板的周缘而形成布线的区域中，基于前述落射照明图像，检查布线图形是否合格，在其以外的区域基于透射照明图像进行检查。 | ||
| 搜索关键词： | 布线 图形 检查 装置 方法 | ||
【主权项】：
1、一种布线图形检查装置，其具备：受像装置，用于接收形成在透光性基板上的布线图形的透射照明图像；及，判定装置，将由该受像装置接收的图像与标准图形对照，以进行布线图形是否合格的检查，其特征为：设置用于向透光性基板的布线图形照射落射照明光的照明装置，并通过前述受像装置接收布线图形的落射照明图像，前述判定装置是在横跨前述透光性基板的周缘而形成有布线的区域中，根据前述落射照明图像来检查布线图形是否合格。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于优志旺电机株式会社，未经优志旺电机株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410090559.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
