[发明专利]具有上盖开/关设备的平板显示器制造装置的加工室

摘要

一种平板显示器制造装置的加工室，其包括打开或者关闭所述室体上盖的开/关设备。所述加工室包括：室体，以及放置在所述室体上的上盖，使得打开远离或者关闭接近所述室体。在所述上盖的关闭状态下，所述上盖使所述室体的内部与外部隔离，从而在所述室体的内部产生真空。在所述室体内安装有：衬底支承装置，用于支承待处理衬底；处理气体供给系统；排气系统，用于排空所述室体；以及第一上盖开/关设备。所述第一上盖开/关设备包括：升降装置，用来竖直提升所述上盖，以及旋转器，用于旋转通过所述升降装置所提升的所述上盖。

主权项

1.一种平板显示器制造装置的加工室，包括：室体；上盖，放置在所述室体上，以便打开远离或者关闭接近所述室体，在关闭状态下，所述上盖将所述室体的内部与外部隔离从而在所述室体内产生真空；衬底支承装置，配置在所述室体内，用于支承待处理衬底；处理气体供给系统，配置在所述室体内；排气系统，配置在所述室体内，用于排空所述室体；以及第一上盖开/关设备，安装在所述室体的外部，其中，所述设备包括：升降装置，用来竖直提升所述上盖；以及第一旋转器，用于旋转由所述升降装置所提升的所述上盖。