[发明专利]表面仿形测量装置和仿形测头的修正表制作方法有效
| 申请号： | 200410091666.9 | 申请日： | 2004-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1621778A | 公开（公告）日： | 2005-06-01 |
| 发明（设计）人： | 野田孝;小仓胜行 | 申请（专利权）人： | 株式会社三丰 |
| 主分类号： | G01B21/00 | 分类号： | G01B21/00 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 季向冈 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 测量系统包括有驱动仿形测头的三坐标测量机和主机。主机备有修正表(53)和形状解析部(54)。修正表(53)在每个接触方面上都存储了作为修正数据的用于修正测头计数器(415)的计数值的修正系数和与接触部的中心坐标值相对应的到被测量物表面的修正半径r。形状解析部(54)包括接触方向算出部(542)、修正数据选择部(543)和修正运算部(544)。用接触方向算出部(543)算出仿形测头和被测量物(W)的接触方向，修正数据选择部(543)根据该接触方向选择设定在修正表(53)中的修正数据。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 测量 装置 仿形测头 修正 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种表面仿形测量装置，其特征在于，包括：仿形测头，该仿形测头具有接近或者接触被测量物表面的测量触头和检测上述测量触头与被测量物表面的相对位置的检测传感器，将上述测量触头与上述被测量物表面的相对位置保持在预先设定的基准范围内进行仿形扫描；移动机构，该移动机构用于使上述仿形测头沿被测量物表面相对移动；驱动传感器，该驱动传感器用于检测上述移动机构的驱动量；解析装置，该解析装置根据由上述检测传感器和驱动传感器检测出的检测值解析上述被测量物的形状，上述解析装置具有修正表，该修正表储存有修正数据，该修正数据用于修正在用上述仿形测头仿形扫描上述被测量物表面之际、在用上述测量触头测量上述被测量物表面的每个测量方向上由上述检测传感器检测出的检测值。
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