[发明专利]半导体机器的晶片载台清洁夹具无效
| 申请号： | 200410092223.1 | 申请日： | 2004-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN1770388A | 公开（公告）日： | 2006-05-10 |
| 发明（设计）人： | 王宏祺;郭宗铭;林炜烽 | 申请（专利权）人： | 力晶半导体股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/00 | 分类号： | H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 陶凤波;侯宇 |
| 地址： | 台湾省*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 一种半导体机器的晶片载台清洁夹具，其主要包括：一本体部、一驱动装置、一电源供应装置，以及由一旋转基、一弹性元件及一清洁转盘所组成的清洁模块，其中，本体部可自由调整长短，且于本体部前端具有一容置空间，而驱动装置设于容置空间内，可提供一动力，电源供应装置耦接于驱动装置，用以提供驱动装置电力来源，旋转基座设于靠近该驱动装置之侧，并藉由弹性元件连接清洁转盘，由驱动装置提供动力，使清洁转盘旋转以清除半导体机器的晶片载台的杂质，且可视不同清洁需求更换清洁转盘的大小或材料。 | ||
| 搜索关键词： | 半导体 机器 晶片 清洁 夹具 | ||
【主权项】：
1.一种半导体机器的晶片载台清洁夹具，该清洁夹具至少包括有：一本体部，具有相对应设置的一清洁模块端与一握持端，且该清洁模块端还具有一容置空间；一驱动装置，设于该本体部容置空间内；一电源供应装置设于该本体部内，并耦接于该驱动装置；一清洁模块位于该本体部的该清洁模块端，并连接于该驱动装置。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于力晶半导体股份有限公司，未经力晶半导体股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410092223.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
