[发明专利]场发射阴极

摘要

本发明公开了一种场发射阴极，涉及平面显示器的场发射阴极的技术领域；它包括自下而上顺序排列的基板玻璃、下电极、绝缘层、电子传输层、上电极，该绝缘层为由一层以上的介质绝缘薄膜组成的复合绝缘层；介质绝缘薄膜采用五氧化二钽、三氧化二铝、二氧化铪、二氧化锆、钛酸锶钡、钛酸铅、氧化钇等非晶态薄膜；介质绝缘薄膜根据各自的特点采用蒸发、溅射、溶胶－凝胶、气相沉积等不同工艺的成膜方式；该上电极可以是单层金属或半导体薄膜结构，也可以是双层薄膜结构；本发明的场发射阴极的发射电流大，适合于在高亮度场发射平板显示器件应用；本发明的场发射阴极中采用复合非晶态薄膜，其击穿场强较高，使用寿命较长。

主权项

1、一种场发射阴极，包括自下而上顺序排列的基板玻璃(5)、下电极(4)、绝缘层(3)、电子传输层(2)、上电极(1)，其特征在于，所述的绝缘层(3)为复合绝缘层，是由一层以上的非结晶的介质绝缘薄膜组成。