[发明专利]利用气体协同交换原理对容器抽真空的方法无效
| 申请号： | 200410093425.8 | 申请日： | 2004-12-23 |
| 公开（公告）号： | CN1644923A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 肖尤明;金听祥;徐烈 | 申请（专利权）人： | 上海交通大学 |
| 主分类号： | F04B37/02 | 分类号： | F04B37/02;F17C3/08 |
| 代理公司： | 上海交达专利事务所 | 代理人： | 周文娟 |
| 地址： | 200240*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 利用气体协同交换原理对容器抽真空的方法，属于真空技术领域。该方法是利用气体协同交换原理，向容器内多次充入置换气体后对容器抽真空。首先在需要抽真空的容器内放入吸附剂，对容器加热，使温度保持在80℃～150℃，对容器抽真空，使该容器的真空度为3.0Pa～1.0Pa。然后向抽到上述真空度的容器内充入置换气体，当容器的压力达到小于或者等于1.01325×105Pa时停止充气，同时计时，经过一定时间后对充入气体后的容器再抽真空，当容器真空度为3.0Pa～1.0Pa时，重复充入置换气体后抽真空的步骤3～5次，使容器真空度为0.03Pa～0.01Pa时，停止加热，并停止抽真空。本发明与现有的容器抽真空技术相比，可以缩短抽真空的时间，并可以长时间保持容器的真空度。 | ||
| 搜索关键词： | 利用 气体 协同 交换 原理 容器 真空 方法 | ||
【主权项】：
1、一种利用气体协同交换原理对容器抽真空的方法，其特征在于该方法是利用气体协同交换原理，向容器内充入置换气体后对容器抽真空，该方法包括以下步骤：步骤1，在需要抽真空的容器内放入吸附剂；步骤2，对容器加热，根据容器材料的类型使容器的加热温度保持在80℃～150℃；步骤3，对容器抽真空，使该容器的真空度在3.0Pa～1.0Pa；步骤4，向抽到上述真空度的容器内充入置换气体，当容器的压力小于或者等于1.01325×105Pa时停止充气；步骤5，对充入置换气体后的容器再抽真空，当容器真空度达到3.0Pa～1.0Pa时，停止对容器抽真空。步骤6，重复步骤4和步骤5的过程3～5次，在最后一次对容器充入置换气体抽真空的过程中，当真空度达到0.03Pa～0.01Pa时，停止对容器加热，并停止抽真空。
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