[发明专利]制备电子显微镜检测样品用的夹具有效
| 申请号： | 200410093464.8 | 申请日： | 2004-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1796967A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 郭志蓉;秦天;廖炳隆;董伟淳 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | G01N1/32 | 分类号： | G01N1/32;H01J37/20 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 201203上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 制备电子显微镜检测样品用的夹具，包括：手柄1和样品架2；样品架2具有在同一平面上从圆心点开始径向水平延伸的多个样品承载板3；每个样品承载板3上形成多通孔5，腐蚀处理溶液通过通孔5浸泡放在样品承载板3上的样品4，对样品4进行化学腐蚀处理；每个样品承载板3上放置至少两个待处理样品4；手柄1与样品架2的圆心点连接在一起，手柄1垂直于样品承载板3所在的平面；样品架2上的样品承载板3以圆心为中心对称地设置，以保持平衡。 | ||
| 搜索关键词： | 制备 电子显微镜 检测 样品 夹具 | ||
【主权项】：
1、制备电子显微镜检测样品用的夹具，其特征是，包括：手柄(1)和样品架(2)；样品架(2)具有在同一平面上从圆心点开始径向水平延伸的至少两个样品承载板(3)；每个样品承载板(3)上形成多通孔(5)，腐蚀处理溶液通过通孔(5)浸泡放在样品承载板(3)上的样品(4)，对样品(4)进行化学腐蚀处理；每个样品承载板(3)上放置至少两个待处理样品(4)；手柄(1)与样品架(2)的圆心点连接在一起，手柄(1)垂直于样品承载板(3)所在的平面；样品架(2)上的样品承载板(3)以圆心为中心对称地设置，以保持平衡。
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