[发明专利]扫描电子显微镜用的样品夹有效
| 申请号： | 200410093465.2 | 申请日： | 2004-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1797734A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 陈强;邹丽君;秦立勇;陈险峰 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/68 | 分类号： | H01L21/68;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海新高专利商标代理有限公司 | 代理人： | 楼仙英 |
| 地址： | 201203上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 扫描电子显微镜用的样品夹包括：一个底座1，底座1上开有按一定间隔的多个样品放置槽2；固定片3，设置在样品放置槽2的一个侧壁上；弹簧片4，设置在固定片3面向样品放置槽2的侧壁上；其特征是，还包括：固定螺杆5，固定螺杆5按垂直于样品放置槽2的长度方向的底座中心轴设置，固定螺杆5穿过样品放置槽2的侧壁和固定片3中心的螺孔，将样品放置槽2和固定片3平均分割成两部分。固定片3上设置的两个弹簧片4具有向外突起的圆弧形，每个圆弧形的弹簧片4对应一个待检测的样品，弹簧片4焊接在固定片3上。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 样品 | ||
【主权项】：
1、扫描电子显微镜用的样品夹包括：一个底座(1)，底座(1)上开有按一定间隔的多个样品放置槽(2)；固定片(3)，设置在样品放置槽(2)的一个侧壁上；弹簧片(4)，设置在固定片(3)面向样品放置槽(2)的侧壁上；其特征是，还包括：固定螺杆(5)，固定螺杆(5)按垂直于样品放置槽(2)的长度方向的底座中心轴设置，固定螺杆(5)穿过样品放置槽(2)的侧壁和固定片(3)中心的螺孔，将样品放置槽(2)和固定片(3)平均分割成两部分，固定片(3)上设置的两个弹簧片(4)具有向外突起的圆弧形，每个圆弧形的弹簧片(4)对应一个待检测的样品，弹簧片(4)焊接在固定片(3)上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司，未经中芯国际集成电路制造（上海）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/200410093465.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：花盆
- 下一篇：基于IGRS协议的主从设备组之间无线路由实现方法
- 同类专利
- 专利分类
H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
