[发明专利]焊垫设于有源电路上方焊接的集成电路结构有效
申请号: | 200410094759.7 | 申请日: | 2004-11-17 |
公开(公告)号: | CN1779969A | 公开(公告)日: | 2006-05-31 |
发明(设计)人: | 吴炳昌;王坤池;赵美玲;陈孝贤 | 申请(专利权)人: | 联华电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L23/528 | 分类号: | H01L23/528;H01L21/768 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人: | 陶凤波;侯宇 |
地址: | 台湾省新竹*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 提供一种焊垫设于有源电路上方焊接(BOAC)的集成电路结构,包括:一焊垫结构,至少一金属互连线层,至少一位于该焊垫结构下方、用来电连接焊垫结构与金属互连线层的第一介层插塞,以及一有源电路,其设于焊垫结构下方并位于一半导体底层上。其中,焊垫结构还包括一可焊接金属垫、一最上层金属互连线层、一缓冲介电层以及至少一第二介层插塞,其位于可焊接金属垫下方的缓冲介电层中,用来电连接可焊接金属垫与最上层金属互连线层。 | ||
搜索关键词: | 设于 有源 电路 上方 焊接 集成电路 结构 | ||
【主权项】:
1.一种焊垫设于有源电路上方焊接的集成电路结构,包括:一焊垫结构;至少一金属互连线层;至少一第一介层插塞,位于该焊垫结构下方,用来电连接该焊垫结构与该金属互连线层;以及一有源电路,设于该焊垫结构下方并位于一半导体底层之上。
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