[发明专利]具有高透光窗口的抛光垫有效
| 申请号： | 200410095038.8 | 申请日： | 2004-11-24 |
| 公开（公告）号： | CN1622289A | 公开（公告）日： | 2005-06-01 |
| 发明（设计）人： | J·V·H·罗伯茨 | 申请（专利权）人： | CMP罗姆和哈斯电子材料控股公司 |
| 主分类号： | H01L21/302 | 分类号： | H01L21/302;B24B37/04;G01B11/06;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 蔡胜有 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了其中形成有窗口的化学机械抛光垫，其中该窗口是由脂肪族聚异氰酸酯，含羟基材料和固化剂的反应形成。 | ||
| 搜索关键词： | 具有 透光 窗口 抛光 | ||
【主权项】：
1.化学机械抛光垫，该垫包括：具有其中形成的用于终点检测的窗口的抛光垫；且其中该窗口是由脂肪族聚异氰酸酯，含羟基材料和固化剂的反应形成。
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