[发明专利]掩模及其制造方法、有机EL装置的制造方法和有机EL装置无效
| 申请号： | 200410095094.1 | 申请日： | 2004-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN1625311A | 公开（公告）日： | 2005-06-08 |
| 发明（设计）人： | 桑原贵之;四谷真一 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H05B33/10 | 分类号： | H05B33/10;H05B33/14;H05B33/12;C23C14/04 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 李香兰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种作为蒸镀等的掩模可靠性高、能在作为成膜对象部件用的玻璃基板等上以高精度形成所需膜图案的掩模。本发明的掩模，其特征在于，其中具备带有第一开口部(12)的第一基板(10)、和带有起着该掩模的掩模开口部作用的多个第二开口部(22)的第二基板，所述第二开口部(22)配置在所述第一开口部(12)内，所述第二基板(20)相对于所述第一基板(10)部分接合而成。 | ||
| 搜索关键词： | 及其 制造 方法 有机 el 装置 | ||
【主权项】：
1.一种掩模，其特征在于，具备带有第一开口部的第一基板、和带有起着该掩模的掩模开口部作用的多个第二开口部的第二基板，其中所述第二开口部配置在所述第一开口部内部，所述第二基板相对于所述第一基板部分接合而成。
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