[发明专利]光学器件

摘要

形成在基底上的光学器件包括：多个形成在基底顶面的光纤通道；反射镜，在配置在光纤通道中的光纤之间的光路中推进和拉出；可移动杆，一端支撑反射镜；梳形静电激励器，在与可移动杆的中间部分相关的位置，在可移动杆长度方向上移动可移动杆；多个支撑梁，在可移动杆的驱动力施加点的两侧上的两端附近，可移动支承可移动杆，驱动力由梳形静电激励器产生。支撑梁在关于平行于可移动杆长度方向的中心线成线对称的位置上支持可移动杆，由多个支撑梁支承可移动杆的点关于由梳形静电激励器产生的驱动力的施加点对称。即使由梳形静电激励器产生的驱动力包括不同的矢量分量，可抑制可移动杆在驱动可移动杆的所需方向外的方向上的移动。

主权项

1.一种形成在一基底上的光学器件，所述光学器件包括：至少两个形成在所述基底顶面的光纤通道；一反射镜，在配置在所述光纤通道中的光纤之间的光路中推进和拉出；可移动杆，在一端支撑所述反射镜；梳形静电激励器，配置在与所述可移动杆的中间部分相关的位置，用于在所述可移动杆长度方向上移动所述可移动杆；以及多个支撑梁，配置在所述可移动杆的驱动力施加点的两侧上的一端和另一端附近，用于可移动地支承所述可移动杆，所述驱动力由所述梳形静电激励器产生；其中所述支撑梁在关于平行于所述可移动杆长度方向的中心线成线对称的位置上支持所述可移动杆，并且由所述多个支撑梁支承所述可移动杆的点关于由所述梳形静电激励器产生的驱动力的所述施加点对称。