[发明专利]电火花加工用的极长异形微细电极的制造方法无效
| 申请号： | 200410095293.2 | 申请日： | 2004-11-19 |
| 公开（公告）号： | CN1778505A | 公开（公告）日： | 2006-05-31 |
| 发明（设计）人： | 彭良强;伊福廷;张菊芳;韩勇 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | B23H1/04 | 分类号： | B23H1/04;G03F7/20;G03F7/42;C25D1/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 汤保平 |
| 地址： | 100039北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种电火花加工用的极长异形微细电极的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：在导电基板上涂光刻胶；步骤2：掩模板与导电基板对准后曝光，显影后得到光刻胶微结构；步骤3：在光刻胶微结构的缝隙中电铸金属；步骤4：重复1－3步骤；步骤5：去除光刻胶和导电基板后得到所需金属电极。 | ||
| 搜索关键词： | 电火花 工用 异形 微细 电极 制造 方法 | ||
【主权项】：
1、一种电火花加工用的极长异形微细电极的制造方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤1：在导电基板上涂光刻胶；步骤2：掩模板与导电基板对准后曝光，显影后得到光刻胶微结构；步骤3：在光刻胶微结构的缝隙中电铸金属；步骤4：重复1-3步骤；步骤5：去除光刻胶和导电基板后得到所需金属电极。
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