[发明专利]致动装置的制造方法、及包括该致动装置的液体喷射装置有效
| 申请号： | 200410095567.8 | 申请日： | 2004-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN1621233A | 公开（公告）日： | 2005-06-01 |
| 发明（设计）人： | 李欣山;风间宏信;村井正已;角浩二;伊藤牧;横内俊昭 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/045 | 分类号： | B41J2/045;B41J2/01 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 柳春雷 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种防止振动板的剥离并提高了耐久性及可靠性的液体喷头的制造方法。所述制造方法至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，即，在流路形成基板的一个面上，通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80％以上，并热氧化锆层，形成由氧化锆构成的、并构成振动板一部分的绝缘体膜。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 制造 方法 包括 液体 喷射 | ||
【主权项】：
1.一种致动装置的制造方法，所述致动装置包括振动板和设置于所述振动板上的、由下电极、压电体层及上电极构成的压电元件，所述制造方法的特征在于，至少具有振动板形成工序，和在所述振动板上形成压电元件的压电元件形成工序，其中，所述振动板形成工序至少包括形成绝缘体膜的工序，在所述形成绝缘体膜的工序中，在所述基板的一个面上通过溅射法形成锆层，使其表面的(002)面取向度为80％以上，并对所述锆层进行热氧化，形成由氧化锆构成的、并构成所述振动板的一部分的绝缘体膜。
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