[发明专利]压电元件和喷墨头及它们的制造方法、喷墨式记录装置有效
| 申请号： | 200410096283.0 | 申请日： | 2004-11-26 |
| 公开（公告）号： | CN1621231A | 公开（公告）日： | 2005-06-01 |
| 发明（设计）人： | 村田晶子;藤井映志;鸟井秀雄 | 申请（专利权）人： | 松下电器产业株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/01 | 分类号： | B41J2/01;B41J2/045;B41J2/16;H01L41/00 |
| 代理公司： | 北京纪凯知识产权代理有限公司 | 代理人： | 龙淳;邸万杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种低成本、压电特性高且耐湿性高的压电元件。压电元件(20)包括第1电极膜(2)、由在第1电极膜(2)上形成的第1压电体薄膜(3)和在第1压电体薄膜(3)上形成的第2压电体薄膜(4)构成的压电体层叠膜(10)、在第2压电体薄膜(4)上形成的第2电极膜(5)。第1及第2压电体薄膜(3、4)是结晶成长方向从压电体层叠膜(10)厚度方向一侧朝向另一侧的柱状颗粒集合体。第1压电体薄膜(3)Pb含量少于第2压电体薄膜(4)Pb含量。第2压电体薄膜(4)的柱状颗粒平均剖面直径大于第1压电体薄膜(3)的柱状颗粒平均剖面直径。压电体层叠膜(10)厚度对第2压电体薄膜(4)的柱状颗粒平均剖面直径之比为20以上60以下。 | ||
| 搜索关键词： | 压电 元件 喷墨 它们 制造 方法 喷墨式 记录 装置 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，包括：第1电极膜；由在该第1电极膜上所形成的第1压电体膜和在该第1压电体膜上所形成且由上述第1压电体膜来控制结晶取向性的第2压电体膜构成的压电体层叠膜；和，在该第2压电体膜上所形成的第2电极膜；其特征在于：上述第1及第2压电体膜是结晶成长方向从上述压电体层叠膜的厚度方向一侧朝向另一侧的柱状颗粒的集合体，上述第1压电体膜的Pb含量少于上述第2压电体膜的Pb含量，上述第2压电体膜的柱状颗粒的平均剖面直径大于上述第1压电体膜的柱状颗粒的平均剖面直径，上述压电体层叠膜的厚度对上述第2压电体膜的柱状颗粒的平均剖面直径之比为20以上60以下。
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