[发明专利]具有高空间分辨成像能力的共焦干涉显微镜

摘要

本发明属于光学显微成像及微观测量技术领域，涉及一种具有高空间分辨成像能力的共焦干涉显微镜。该显微镜采用共焦干涉显微成像技术来改善共焦显微镜的轴向分辨力，采用超分辨光瞳滤波技术来改善共焦显微镜的横向分辨力，继而达到改善共焦显微镜的空间分辨成像能力。该显微镜包括光源部分(1)，依次放在光源发射端的扩束准直镜(2)、光瞳滤波器(3)、分光镜(4)、放置在分光镜(4)反射光束传播路径上的物镜(5)，包括用于反射分光镜(4)透射光束的参考反射镜(6)，还包括汇聚测量光束和参考光束的聚光镜(7)和放置在聚光镜(7)焦点上的探测器(8)。该共焦干涉显微镜可用于测量样品的三维表面形貌、三维微细结构、微台阶、微沟槽和集成电路线宽等。

主权项

1.一种具有高空间分辨成像能力的共焦干涉显微镜，其特征在于该显微镜包括光源(1)，依次放在光源发射端的扩束准直镜(2)、光瞳滤波器(3)、分光镜(4)、放置在分光镜(4)反射光束传播路径上的物镜(5)，包括反射分光镜(4)透射光束的参考反射镜(6)，还包括汇聚测量光束和参考光束的聚光镜(7)和放置在聚光镜(7)焦点上的探测器(8)。