[发明专利]类金刚石碳膜及其制备方法

摘要

本发明提供了一种耐磨耗、可由低温工艺形成，且具有高附着力的类金刚石碳薄膜及其制造方法，本发明的方法是利用有机硅氧化合物，如六甲基二硅醚混合含氢碳源，以薄膜沉积的方法，并且在工艺中逐渐改变有机硅氧化合物与含氢碳源的比例，在基材上形成一含硅氧化合物的中间层。最后在中间层上方以含氢碳源作薄膜沉积镀覆实质为类金刚石碳材质的一表层，以形成一高附着力的类金刚石碳薄膜。该类金刚石碳薄膜提供适当的硬度/韧性比例，使中间层具有足够的机械支撑力，更使得高硬度的类金刚石碳材质得以附着于基材上不易脱落。

主权项

1.一种类金刚石碳薄膜，至少包含：一基材；一中间层，位于所述基材上，该中间层至少具有硅氧化物材质；以及一表层，位于所述中间层上方。