[发明专利]废水处理系统及方法有效
| 申请号： | 200410096592.8 | 申请日： | 2004-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN1623911A | 公开（公告）日： | 2005-06-08 |
| 发明（设计）人： | 吴忠霖;陈志雄;汤宜训;李文宏;陈昌宗;苏一诚;杨隆吉 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | C02F1/00 | 分类号： | C02F1/00;C02F1/52;B01D21/02;B01D21/01 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李强 |
| 地址： | 台湾省新竹*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | 一种新颖及改进的废水处理系统，适用于处理CMP制程的废水与BG废水及/或BW废水。一暂存槽接收来自CMP制程的废水，一暂存槽接收来自BG制程的废水，一暂存槽接收来自BW的废水，另一收集槽接收来自CMP(chemical mechanical polish)暂存槽废水与背面研磨(backside grinding，BG)暂存槽的废水。一反应槽接收来自收集槽的废水及BW(back wash)的废水，一凝结用带正电荷的高分子助凝剂在反应槽中与研浆粒子结合，使研浆粒子从溶液中沉淀析出。一或一对沉降槽接收来自反应槽的废水，且与带负电荷的高分子聚合物结合的研浆粒子在沉降槽中从废水中分离出来。一放流槽接收来自沉降槽净化后的废水，此净化后的废水可用输送泵送至一储存槽，例如一回收水(RCW)槽，用于例如废气洗涤装置的清洁制程。 | ||
| 搜索关键词： | 废水处理 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种废水处理系统，用于处理废水，包括：一第一暂存槽，用于收集一第一废水；一第二暂存槽，用于收集一第二废水；一收集槽，用于收集一第一废水及第二废水；一反应槽，与该收集槽做流体性的连接，以接受并沉淀出该第一及第二废水中的粒子；以及至少一沉降槽，与该反应槽做流体性的连接，使所述的粒子从沉降槽中分离出来。
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