[发明专利]基板处理装置及基板处理方法

摘要

基板处理装置，含至少两种单元、对至少两种单元进行基板搬入/搬出的基板搬送机构。至少两种单元可从下述单元选择：药液处理单元，用基板保持旋转机构保持基板并使之旋转，并向基板供应药液，处理基板；擦洗清洗单元，用基板保持旋转机构保持基板并使之旋转，向基板供应纯水，并以擦洗刷擦洗基板表面；聚合物除去单元，用基板保持旋转机构保持基板并使之旋转，并向基板供应聚合物除去液，除去基板上残渣物；周端面处理单元，用基板保持旋转机构保持基板并使之旋转，并向基板的含一个面整个区域及周端面的区域供应处理液，选择除去该区域不需要物质；气相处理单元，向基板保持机构保持的基板供应含药液的蒸气或含化学气体的蒸气，处理基板。

主权项

1、一种基板处理装置，包括：下面所述的处理单元中的至少两种处理单元：药液处理单元，其利用基板保持旋转机构保持基板并使之旋转，同时向该基板供应来自药液喷嘴的药液，对该基板进行处理；擦洗清洗单元，其利用基板保持旋转机构保持基板并使之旋转，向该基板供应纯水，同时以擦洗刷擦洗基板表面；聚合物除去单元，其利用基板保持旋转机构保持基板并使之旋转，同时向该基板供应聚合物除去液，除去该基板上的残渣物；周端面处理单元，其利用基板保持旋转机构保持基板并使之旋转，同时向该基板的包含一个面的整个区域及周端面的区域供应处理液，选择性地除去该区域的不需要的物质；气相处理单元，其向基板保持机构所保持的基板供应包含药液的蒸气或包含化学气体的蒸气，对该基板进行处理，以及基板搬送机构，其对这些至少两种的处理单元进行基板的搬入/搬出。