[发明专利]可调源相移干涉仪自校准的方法和装置

摘要

一种用于测量距离(例如在微米范围内)的常规相移干涉仪，通常提供两个正交信号。输出信号通常包括偏移，而偏移除非得到补偿或消除，否则会引入相关的测量误差。用于消除偏移的标准方法，是产生和/或处理相移180度或者其他已知量的附加信号。相反，本发明通过在探测器采集或积分偏移确定信号期间，改变干涉仪辐射源的辐射波长，提供表示对干涉仪中探测器信号有贡献的偏移的信号。对于多种干涉仪设计而言，该方法可以方便地由干涉仪的各信号检测通道实现。该方法在非常短的时间周期内确定偏移误差，并且无需提供附加调节光路或可控制相移。

主权项

1、一种提供信号的方法，该信号能用于确定干涉仪探测器通道所提供的干涉测量信号偏移分量的偏移校正，该干涉仪包括参考光束光路、物光束光路、至少一个包含相应探测器的相应探测器通道、和用于提供可变波长辐射的辐射源，该方法包括：操作至少一个探测器通道的相应探测器，以提供相应的信号积分周期；操作照明源，为干涉仪提供可变波长辐射，使可变波长辐射在一波长范围上改变，以在各信号积分周期的至少一部分期间提供分布在该波长范围上的多个波长；在各信号积分周期的至少一部分期间，将各干涉光光信号输入各探测器中，各干涉光来自于用于该干涉仪的可变波长辐射；以及在各信号积分周期期间响应各干涉光光信号积分在探测器中产生的信号，以提供各积分信号，其中：分布在一波长范围上的多个波长与在各信号积分周期至少一部分期间的各干涉光光信号的多个光相位相应，分布在光相移范围上的多个光相位与波长范围相应；该波长范围对应至少360度的光相移范围；并且各积分信号能用于确定对于干涉仪的至少该相应探测器通道提供的至少一个干涉测量信号的偏移分量的偏移校正。