[发明专利]用于磁性装置的磁性膜无效
申请号: | 200410098212.4 | 申请日: | 2004-11-30 |
公开(公告)号: | CN1707614A | 公开(公告)日: | 2005-12-14 |
发明(设计)人: | 野间贤二;松冈正昭 | 申请(专利权)人: | 富士通株式会社 |
主分类号: | G11B5/31 | 分类号: | G11B5/31;H01L43/00;H01F41/14 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人: | 丁香兰 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供了一种能够被实际应用的磁性装置的磁性膜,该磁性膜具有大于2.45T的饱和磁化强度。该磁性膜是一种由铁、钴和钯组成的合金膜。钯的摩尔含量为1-7%,而且该合金膜通过溅射法形成。本发明还提供了另一种磁性膜,该磁性膜含有交替层叠的铁磁性膜以及钯膜或含有钯的合金膜。该钯膜或含有钯的合金膜的厚度为0.05-0.28nm,而且所述层叠的膜通过溅射法或蒸镀法形成。 | ||
搜索关键词: | 用于 磁性 装置 | ||
【主权项】:
1.一种用于磁性装置的磁性膜,该磁性膜是由铁、钴和钯组成的合金膜,其中,钯的摩尔含量为1-7%,而且所述的合金膜由溅射法形成。
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