[发明专利]用于磁性装置的磁性膜无效

专利信息
申请号: 200410098212.4 申请日: 2004-11-30
公开(公告)号: CN1707614A 公开(公告)日: 2005-12-14
发明(设计)人: 野间贤二;松冈正昭 申请(专利权)人: 富士通株式会社
主分类号: G11B5/31 分类号: G11B5/31;H01L43/00;H01F41/14
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 代理人: 丁香兰
地址: 日本神*** 国省代码: 日本;JP
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摘要: 发明提供了一种能够被实际应用的磁性装置的磁性膜,该磁性膜具有大于2.45T的饱和磁化强度。该磁性膜是一种由铁、钴和钯组成的合金膜。钯的摩尔含量为1-7%,而且该合金膜通过溅射法形成。本发明还提供了另一种磁性膜,该磁性膜含有交替层叠的铁磁性膜以及钯膜或含有钯的合金膜。该钯膜或含有钯的合金膜的厚度为0.05-0.28nm,而且所述层叠的膜通过溅射法或蒸镀法形成。
搜索关键词: 用于 磁性 装置
【主权项】:
1.一种用于磁性装置的磁性膜,该磁性膜是由铁、钴和钯组成的合金膜,其中,钯的摩尔含量为1-7%,而且所述的合金膜由溅射法形成。
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