[发明专利]金属膜的蚀刻液组合物无效
| 申请号： | 200410098310.8 | 申请日： | 2004-12-03 |
| 公开（公告）号： | CN1651608A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | 藤川和宏;田湖次广 | 申请（专利权）人： | 关东化学株式会社;三洋电机株式会社;新泻三洋电子株式会社 |
| 主分类号： | C23F1/16 | 分类号： | C23F1/16;C23F1/20 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人： | 陈建全 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种可以对金属膜以很好的控制性进行蚀刻，形成作为目标的锥形形状，且表面平滑，同时没有蚀刻溶液渗入痕的蚀刻液组合物。本发明的蚀刻液组合物含有烷基硫酸酯或者全氟链烯基苯基醚磺酸以及它们的盐之中的1种、2种或以上的表面活性剂。 | ||
| 搜索关键词： | 金属膜 蚀刻 组合 | ||
【主权项】：
1、一种蚀刻金属膜的蚀刻液组合物，其含有烷基硫酸酯或者全氟链烯基苯基醚磺酸以及它们的盐之中的1种、2种或以上的表面活性剂。
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