[发明专利]电弧蒸发器，驱动电弧蒸发器的方法及离子电镀设备无效
| 申请号： | 200410098355.5 | 申请日： | 2001-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN1632160A | 公开（公告）日： | 2005-06-29 |
| 发明（设计）人： | 泷川志朗;能势功一;小泉康浩;堀崇展;宫行男 | 申请（专利权）人： | 新明和工业株式会社;西铁城时计株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 李晓舒;魏晓刚 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种电弧蒸发器，包括：阳极；作为阴极的蒸发源电极；以及用于产生穿过阳极和蒸发源电极的AC方波电弧电流的电流控制单元。 | ||
| 搜索关键词： | 电弧 蒸发器 驱动 方法 离子 电镀 设备 | ||
【主权项】：
1.一种离子电镀设备，能够在一个容器中进行离子电镀和等离子体气相沉积。
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