[发明专利]表面处理方法有效
| 申请号： | 200410098387.5 | 申请日： | 2000-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN1624192A | 公开（公告）日： | 2005-06-08 |
| 发明（设计）人： | 西内武司;栃下佳己;菊井文秋;木泽光央 | 申请（专利权）人： | 株式会社新王磁材 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/14;H01F41/32;H01F7/02 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 柴毅敏 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 一种利用容易氧化的汽相淀积材料在产品的表面上形成汽相淀积膜的表面处理方法，包括下述步骤：在将一汽相淀积控制气体已经供给到至少材料熔化/蒸发源附近的区域和处理室内的产品附近的区域的状态下，蒸发所述汽相淀积材料；其中，所述汽相淀积控制气体通过将其从处理室外部引入而供给。 | ||
| 搜索关键词： | 表面 处理 方法 | ||
【主权项】：
1.一种利用容易氧化的汽相淀积材料在产品的表面上形成汽相淀积膜的表面处理方法，包括下述步骤：在将一汽相淀积控制气体已经供给到至少材料熔化/蒸发源附近的区域和处理室内的产品附近的区域的状态下，蒸发所述汽相淀积材料；其中，所述汽相淀积控制气体通过将其从处理室外部引入而供给。
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