[发明专利]具有第一级涡轮风扇和第二级涡轮分子泵的超高速率真空泵系统

摘要

一种超高速率真空泵抽空系统包括一个第一级超高速涡轮风扇和一个第二级常规涡轮分子泵。该涡轮风扇或串联连接到一个待抽空的腔室，或视情况完整地安置在该腔室内。该涡轮风扇采用在高线性叶片速度下运行的大直径转子叶片以向流体赋予一超高抽气速度。该第二级涡轮分子泵在该第一级涡轮风扇下游流体地连接。在运行中，该第一级涡轮风扇在预先存在的真空中运行，其中该流体仅向该转子叶片施加较小的轴向力。该涡轮风扇向流体颗粒赋予朝向一个出口的高体积速率但适度压缩比率的一速度。该第二级常规涡轮分子泵接着将该流体压缩到用于通过一个低真空泵抽空的压力。

主权项

1.一种真空泵抽空系统，其包括：(a)一个包括一涡轮风扇的第一级，其包括：(1)一个具有一流体流入口和一流体流出口的含流体外壳；(2)一个可旋转地安装在所述外壳内的转轴，所述转轴具有一个纵轴；(3)从所述外壳朝向所述转轴的纵轴延伸的复数个固定定子叶片，所述的定子叶片在所述涡轮风扇流体流入口与所述涡轮风扇流体流出口之间纵向间隔；(4)从所述转轴径向延伸的复数个转子叶片，所述转子叶片可绕所述转轴的纵轴旋转，所述转子叶片在所述涡轮风扇流体流入口与所述涡轮风扇流体流出口之间纵向间隔；和(b)一个包括一涡轮分子泵的第二级，该涡轮分子泵具有一流体流入口和一流体流出口，所述涡轮分子泵入口与所述涡轮风扇出口流体地连通；藉此，在所述转轴绕其纵轴旋转之后，所述定子和转子叶片协作以向流入所述涡轮风扇流体流入口的流体流赋予一轴向速度，从而将一加压流体流从所述涡轮风扇流体流出口引导到所述涡轮分子泵流体流入口。