[发明专利]组合多个独立信息源用于被测器件的分类无效
| 申请号： | 200410098889.8 | 申请日： | 2004-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1696721A | 公开（公告）日： | 2005-11-16 |
| 发明（设计）人： | 李强;丹尼尔·A·乌西科夫 | 申请（专利权）人： | 安捷伦科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;G01R31/01 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 王怡 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明提供了组合多个独立信息源用于被测器件的分类的方法和系统。本发明的实施例使用多种缺陷检测测试的结果，并且以反映产生该结果的测试的准确度的方式来调整每种测试的结果。然后可以使用经调整的结果的数学组合来评价制得单元。 | ||
| 搜索关键词： | 组合 独立 信息源 用于 器件 分类 | ||
【主权项】：
1.一种用于判断被测器件有缺陷的方法，所述方法包括：对多种缺陷检测技术的结果加权，其中所述加权与所述技术的准确度相关；以及判断所述单元存在缺陷的概率，其中通过组合来自所述多种技术的所述结果做出所述判断。
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