[发明专利]盘驱动器的卡盘设备

摘要

卡盘设备包括卡盘基座，具有沿卡盘基座的外周凹进的多个配件以及在卡盘基座的中心形成有连接到马达的中心轮毂，多个卡盘销分别装配到配件上，多个弹性构件向前弹性支撑卡盘销的后端以便卡盘销的前端能暴露到卡盘基座的外表面，以及刚性框架接触弹性构件以及形成有中心孔以便中心孔具有大于中心轮毂的外直径的内直径，从而提供自由度，允许刚性框架在可容许范围内，在水平方向中移动。

主权项

1.一种盘驱动器的卡盘设备，提供给供给用于卡住将旋转的盘的旋转驱动力的马达，所述卡盘设备包括：卡盘基座，具有沿所述卡盘基座的外周凹进的多个配件，盘的中心空隙相应地插在所述多个配件上，以及在所述卡盘基座的中心形成有连接到所述马达的中心轮毂以便所述卡盘基座能与所述马达的转子一起旋转；多个卡盘销，分别装配到所述配件上以便它们能在径向中往复运动；多个弹簧构件，弹性向前支撑所述卡盘销的后端，以便所述卡盘销的前端能暴露到所述卡盘基座的外表面；以及刚性框架，在面向所述卡盘销的所述刚性框架的外表面处与所述弹性构件接触，以便它能由与所述卡盘销的后端接触的一端的所述弹性构件的另一端弹性支撑，所述刚性框架在其中心形成有垂直穿过所述刚性框架的中心孔以便所述中心孔具有大于所述中心轮毂的外直径的内直径，从而提供允许所述刚性框架在可容许范围内，在水平方向中移动的自由度，以便在所述弹性构件的弹力不等时，所述盘的中心能与所述马达的旋转中心匹配。