[发明专利]微型可移动设备有效
| 申请号： | 200410100529.7 | 申请日： | 2004-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN1607410A | 公开（公告）日： | 2005-04-20 |
| 发明（设计）人： | 加藤嘉睦;森惠一;吉田惠;近藤健治;滨田义彦;伊卷理 | 申请（专利权）人： | 日本航空电子工业株式会社 |
| 主分类号： | G02B6/35 | 分类号： | G02B6/35;G02B26/02;G03F7/20;H01L21/00 |
| 代理公司： | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人： | 王景刚;李瑞海 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供形成在基底上并适于沿平行于所述基底薄片表面的方向移动的可移动部件(11)；形成在所述基底上并固定设置在其上的固定部件(10a)；以及平行于基底薄片表面延伸的弹性铰链(6A)至(6D)，其相反两端与可移动部件(11)和固定部件(10a)连接，用于以可移动方式支撑可移动部件(11)。沿垂直于铰链(6A)至(6D)纵向平面的横截面来看，铰链具有随着接近基底顶面而变小的宽度，进而具有梯形或三角形横截面。在要求提供相等弹簧常数的所述铰链顶面上测量的宽度被选定为比具有矩形横截面(等宽)的铰链宽度大，并且这样易于在制造过程中进行光刻。 | ||
| 搜索关键词： | 微型 移动 设备 | ||
【主权项】：
1.一种微型可移动设备，包括形成在基底上并适于在平行于基底薄片表面的方向上移动的可移动部件，形成在基底上并固定在其上的固定部件，以及平行于基底薄片表面延伸的弹性铰链，其相反两端与可移动部件和固定部件连接，以可移动方式支撑可移动部件；其中铰链具有在垂直于铰链纵向的平面的横截面中所测得的宽度，朝向基底的顶部表面所述宽度变小。
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