[发明专利]膜厚测定方法和装置有效
| 申请号： | 200410100754.0 | 申请日： | 2004-12-13 |
| 公开（公告）号： | CN1664493A | 公开（公告）日： | 2005-09-07 |
| 发明（设计）人： | 藤原成章 | 申请（专利权）人： | 大日本网目版制造株式会社 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 经志强;潘培坤 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种即使是滤色片那样的选择性透过特定波长区域的光的透明薄膜也能正确测定其膜厚的膜厚测定方法和装置。首先，对每一种不同的膜厚取得多个作为在基板上形成了具有规定膜厚的无色透明薄膜的试样的分光反射率而计算出的理论分光反射率。接着，取得作为测定对象的滤色片的分光透射率，把该分光透射率中规定透射率以上的波长区域选定为测定波长区域。把对每一种不同膜厚而计算出的多个理论分光反射率通过分光透射率修正，求出修正后理论分光反射率。之后，向在基板上形成了测定对象的滤色片的试样照射光，把从该试样反射的光进行分光而实测分光反射率。比较得到的实测分光反射率和修正后理论分光反射率而计算出滤色片的膜厚。 | ||
| 搜索关键词： | 测定 方法 装置 | ||
【主权项】：
1、一种膜厚测定方法，根据对在基板上形成了透明薄膜的试样照射光而得到的分光反射率测定所述透明薄膜的膜厚，其特征在于，包括：分光透射率取得工序，取得所述透明薄膜的分光透射率；分光反射率测定工序，向所述试样照射光，并将从所述试样反射的反射光分光而实测分光反射率；修正工序，通过所述分光透射率修正作为在基板上形成了具有规定膜厚的透明薄膜的试样的分光反射率而预先算定的理论分光反射率；膜厚计算工序，比较在所述修正工序中修正的修正后理论分光反射率和在所述分光反射率测定工序中测定的实测分光反射率，计算出测定对象的透明薄膜的膜厚。
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