[发明专利]提高单梁结构微机械谐振压力传感器激励性能的方法无效
| 申请号： | 200410101006.4 | 申请日： | 2004-12-01 |
| 公开（公告）号： | CN1645076A | 公开（公告）日： | 2005-07-27 |
| 发明（设计）人： | 张正元;徐世六;刘玉奎;杨国渝;税国华 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第二十四研究所 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18;H01C7/00;H01L29/84 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 400060重*** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种提高单梁结构微机械谐振压力传感器激励性能的方法。该方法是将该传感器的谐振梁表面上制作的激励电阻用铂制成铂薄膜电阻。用本发明方法可提高单梁结构谐振压力传感器的谐振单梁激励的可靠性和稳定性。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 结构 微机 谐振 压力传感器 激励 性能 方法 | ||
【主权项】：
1、一种提高单梁结构微机械谐振压力传感器激励性能的方法，在该传感器的谐振梁表面上制作有一激励电阻，其特征在于：将该激励电阻用铂制成铂薄膜电阻。
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