[发明专利]一种以喷墨法形成微孔金属薄膜的方法有效
申请号: | 200410101578.2 | 申请日: | 2004-12-23 |
公开(公告)号: | CN1798480A | 公开(公告)日: | 2006-07-05 |
发明(设计)人: | 杨明桓;郑兆凯;林智坚;邱至轩;张惠珍 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | H05K3/18 | 分类号: | H05K3/18;H05K3/12 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 梁挥;祁建国 |
地址: | 台湾省*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明公开了一种以喷墨法形成微孔金属薄膜的方法,主要在基板表面进行表面处理后,以微液滴喷涂方式将催化剂喷涂于此微孔内,且此催化剂吸附并干燥于此微孔内壁。基板经处理后由于表面性质改变而使镀液容易进入微孔,并于微孔内壁形成金属薄膜,可以避免空气残留在微孔中造成化镀金属不完全,而形成断路,并且微孔内壁与金属间甚佳的附着力,可改善镀层(金属薄膜)剥落。此外,此喷涂的方式可以减少贵金属盐类(催化剂)的使用、制作的程序及光阻蚀刻废液的产生,再加上不需要经过曝光、显影、激光钻孔等高单价设备及空间,可缩减工艺的成本及符合环保要求。 | ||
搜索关键词: | 一种 喷墨 形成 微孔 金属 薄膜 方法 | ||
【主权项】:
1、一种以喷墨法形成微孔金属薄膜的方法,其特征在于,包括步骤:提供一基板,该基板开设有一微孔;于该基板表面进行一表面处理;提供一疏孔性组件,该疏孔性组件设置于该基板背面;以微液滴喷涂方式将一催化剂喷涂于该微孔内,且该催化剂吸附并干燥于该微孔内壁;将该疏孔性组件脱离该基板背面;及于一镀液中,一金属薄膜成型于该微孔内壁。
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