[发明专利]一种基于微纳组合结构的力传感器无效
| 申请号： | 200410101600.3 | 申请日： | 2004-12-24 |
| 公开（公告）号： | CN1796952A | 公开（公告）日： | 2006-07-05 |
| 发明（设计）人： | 周兆英;朱荣;王鼎渠;叶雄英 | 申请（专利权）人： | 清华大学 |
| 主分类号： | G01L1/00 | 分类号： | G01L1/00;G01L1/10;G01L1/16;G01L1/18;B81B3/00;B82B1/00 |
| 代理公司： | 北京泛华伟业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 高存秀 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微纳组合结构的力传感器，包括桥式梁、质量块、基体和设置在基体上的多个电极，电极和基体之间具有一绝缘层，桥式梁的两端固定在电极上，质量块悬空固定在桥式梁的中间；其中，桥式梁为半导体氧化物纳米带，还包括一个用于测量桥式梁谐振频率的谐振频率检测电路。本发明的力传感器是微机电传感器与纳米材料的组合，采用半导体氧化物纳米带作为桥式梁，其结构可控且无缺陷，同时纳米带的柔韧性极佳，在力作用下能够有更大的形变等优点，这些优点可提高传感器的分辨率和精度。采用半导体氧化物纳米带作为桥式梁，可利用半导体氧化物纳米带的场效应管特性或其压电特性，使得传感器的测量方法有了更多的选择。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 组合 结构 传感器 | ||
【主权项】：
1、一种基于微纳组合结构的力传感器，包括桥式梁、质量块、基体和设置在基体上的多个电极，所述电极和基体之间具有一绝缘层，所述桥式梁的两端固定在电极上，所述质量块悬空固定在桥式梁的中间；其特征在于，所述桥式梁为半导体氧化物纳米带；还包括一个用于测量所述桥式梁谐振频率的谐振频率检测电路。
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