[发明专利]封盖单元及其控制方法、液滴喷射装置及设备制造方法有效
| 申请号： | 200410102075.7 | 申请日： | 2004-12-22 |
| 公开（公告）号： | CN1636731A | 公开（公告）日： | 2005-07-13 |
| 发明（设计）人： | 臼田秀范 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/135 | 分类号： | B41J2/135;B41J2/14;B41J2/07 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 宋合成 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供了一种封盖装置，所述封盖装置包括：密封单元，用于至少密封喷射液滴的液滴喷射头的喷嘴孔；加热单元，用于至少加热液滴喷射头的喷嘴孔附近；以及负压供应单元，用于将使得液滴从喷嘴孔喷出的负压供给密封喷嘴孔的密封单元的内部。 | ||
| 搜索关键词： | 单元 及其 控制 方法 喷射 装置 设备 制造 | ||
【主权项】：
1.一种封盖装置，包括：密封单元，用于至少密封喷射液滴的液滴喷射头的喷嘴孔；加热单元，用于至少加热所述喷嘴孔附近；以及负压供应单元，用于将使得液滴从所述喷嘴孔喷出的负压供给所述密封单元的内部。
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