[发明专利]用于溅射的非结合可旋转靶无效
| 申请号： | 200410102101.6 | 申请日： | 2004-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN1754981A | 公开（公告）日： | 2006-04-05 |
| 发明（设计）人： | R·纽科姆;D·鲁滨逊 | 申请（专利权）人： | 应用膜公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人： | 董敏 |
| 地址： | 美国科*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及一种用于溅射的可旋转靶。所述靶包括具有外表面的靶衬管；与所述靶衬管的外表面接触的衬层，所述衬层为可导电的但不导热的；和多个围绕所述靶衬管布置、并与所述衬层接触的多个靶圆筒。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 溅射 结合 旋转 | ||
【主权项】：
1.一种溅射系统，包括：具有外表面的靶衬管；与所述靶衬管的外表面相接触的衬层，所述衬层为可导电但不导热的；以及围绕所述靶衬管布置、并与所述衬层接触的多个靶圆筒。
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