[发明专利]声表面波元件片及其制造方法以及声表面波装置有效
| 申请号： | 200410102254.0 | 申请日： | 2004-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN1652461A | 公开（公告）日： | 2005-08-10 |
| 发明（设计）人： | 山崎隆;饭泽庆吾 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供一种声表面波元件片及其制造方法。声表面波元件片(50)在石英片(52)的表面具有IDT(34)和配置在IDT(34)两侧的反射器(36)。石英片(52)由其切割角被欧拉角表示为(0°、113°～135°、±(40°～49°))的面内旋转ST切割石英板形成。IDT(34)和反射器36沿着相对石英片(52)的声表面波的相位速度的方向(40)倾斜PFA±3°的方向配置。能量流动角PFA在石英片(52)的切割角被欧拉角表示为(φ°、θ°、φ°)时，PFA＝0.374(θ°－90°)－10.0°。由此，可以确实沿着面内旋转ST切割石英板的声表面波的群速度的方向配置IDT和反射器。 | ||
| 搜索关键词： | 表面波 元件 及其 制造 方法 以及 装置 | ||
【主权项】：
1.一种声表面波元件片，其特征在于，具有：在把欧拉角设为(φ°、θ°、φ°)时的切割角为(0°、113°～135°、±(40°～49°))的面内旋转ST切割石英片；和形成在所述石英片的表面，沿着相对所述石英片的声表面波的相位速度的方向倾斜PFA±3°的方向配置的梳状电极和反射器，所述PFA用公式表示为：PFA＝0.374(θ°-90°)-10.0°。
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