[发明专利]光谱影像测量装置有效
申请号: | 200410102831.6 | 申请日: | 2004-12-28 |
公开(公告)号: | CN1796975A | 公开(公告)日: | 2006-07-05 |
发明(设计)人: | 王浩伟;杨富翔 | 申请(专利权)人: | 财团法人工业技术研究院 |
主分类号: | G01N21/27 | 分类号: | G01N21/27;G01N21/17 |
代理公司: | 北京律盟知识产权代理有限责任公司 | 代理人: | 王允方;刘国伟 |
地址: | 中国*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | 本发明揭示一种具有空间解析能力及光谱解析能力的光谱影像测量装置。该光谱影像测量装置包含一用以收集来自一样品的光能量的像方远心镜、一设置于该像方远心镜后的光狭缝、一用以准直来自该光狭缝的光束的非球面镜、一可将该光束的不同波长色散成不同出射角度子光束的波长色散组件、一用以聚焦该子光束的消色差镜、一用以检测该子光束的强度的光检测组件。该波长色散组件可为一穿透式或反射式的绕射光栅,而该光检测组件可为一二维数组光检测器。 | ||
搜索关键词: | 光谱 影像 测量 装置 | ||
【主权项】:
1.一种光谱影像测量装置,其特征在于其包含:一像方远心镜,用以收集来自一样品的光能量;一非球面镜,用以准直来自该像方远心镜的光束;一波长色散组件,可将该光束色散成不同波长的子光束;一光检测组件,用以检测该子光束的强度。
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