[发明专利]薄膜体声谐振器及其制造方法

摘要

一种薄膜体声谐振器，包括相互分开设置的第一到第四绝缘体图形。第三和第四绝缘体图形分别相对于第一和第二绝缘体图形与第二和第一绝缘体图形相反设置。底部导电层设置在第一和第三绝缘体图形上，并从第一和第二绝缘体图形之间的区域延伸到第三绝缘体图形。压电膜位于底部导电层上，设置在第一和第二绝缘体图形之间的区域上。顶部导电层面对底部导电层以将压电膜夹在中间，并从第一和第二绝缘体图形之间的区域延伸到第四绝缘体图形。

主权项

1.一种薄膜体声谐振器，包括：第一绝缘体图形；第二绝缘体图形，设置为与所述第一绝缘体图形分开；第三绝缘体图形，设置在相对于所述第一绝缘体图形与所述第二绝缘体图形相反的方向上，并与所述第一绝缘体图形分开；第四绝缘体图形，设置在相对于所述第二绝缘体图形与所述第一绝缘体图形相反的方向上，并与所述第二绝缘体图形分开；底部导电层，设置在所述第一和第三绝缘体图形上，从所述第一和第二绝缘体图形之间的区域延伸到所述第三绝缘体图形；压电膜，在所述底部导电层上，设置在所述第一和第二绝缘体图形之间的区域上；以及顶部导电层，面对所述底部导电层以将所述压电膜夹在中间，并从所述第一和第二绝缘体图形之间的区域延伸到所述第四绝缘体图形。